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我國科研人員為氧化鎵晶體管找到新結構方案

時間: 2023-02-27 09:05:06 來源: 南財快訊


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從中國科學技術大學獲悉,該校微電子學院龍世兵教授課題組聯合中科院蘇州納米所加工平臺,分別采用氧氣氛圍退火和氮離子注入技術,首次研制出了氧化鎵垂直槽柵場效應晶體管。相關研究成果日前分別在線發表于《應用物理通信》《IEEE電子設備通信》上。(科技日報)

關鍵詞: 電子設備 微電子學院

責任編輯:QL0009

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