(相關(guān)資料圖)
中瓷電子(003031)08月06日在投資者關(guān)系平臺上答復(fù)了投資者關(guān)心的問題。
投資者：董秘您好，公司新產(chǎn)品靜電卡盤主要用于哪些半導(dǎo)體設(shè)備中？按照券商研報(bào)公司是目前國內(nèi)唯一一家可用于精密半導(dǎo)體設(shè)備的靜電卡盤生產(chǎn)商，該觀點(diǎn)是否屬實(shí)？
中瓷電子董秘：尊敬的投資者，您好！公司精密陶瓷零部件是采用氧化鋁、氮化鋁等先進(jìn)陶瓷經(jīng)精密加工后制備的半導(dǎo)體設(shè)備用核心零部件，具有高強(qiáng)度、耐腐蝕、高精度等優(yōu)異性能，應(yīng)用于刻蝕機(jī)、涂膠顯影機(jī)、光刻機(jī)、離子注入機(jī)等半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。公司已開發(fā)了精密陶瓷零部件用氧化鋁、氮化鋁核心材料和配套的金屬化體系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工藝平臺，開發(fā)的陶瓷加熱盤產(chǎn)品核心技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平并通過用戶驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化，已批量應(yīng)用于國產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。謝謝您的關(guān)心。
關(guān)鍵詞：
責(zé)任編輯：QL0009
為你推薦
