盛美半導體設備（上海）股份有限公司

                       （截至授予日）

   一、限制性股票激勵計劃分配情況表

【資料圖】

   本激勵計劃授予的限制性股票在各激勵對象間的分配情況如下表所示：

                                 獲授限制性        占本激勵計劃

                                       占授予限制性

    姓名           國籍      職務      股票數量         公告日股本總

                                       股票總數比例

                                  (萬股)          額比例

一、董事、高級管理人員、核心技術人員（10人）

                        董事長、

  HUI WANG       美國               125.0000     9.3914%    0.2883%

                       核心技術人員

                       董事、總經理、

    王堅           中國               93.0000      6.9872%    0.2145%

                       核心技術人員

 HAIPING DUN    中國臺灣     董事        2.0000      0.1503%    0.0046%

   羅千里          中國臺灣     董事        2.0000      0.1503%    0.0046%

STEPHEN SUN-

                 美國      董事        2.0000      0.1503%    0.0046%

 HAI CHIAO

                        副總經理、

   陳福平           中國               72.0000      5.4095%    0.1661%

                       核心技術人員

 LISA YI LU

                 美國     財務負責人     31.0000      2.3291%    0.0715%

    FENG

   羅明珠           中國     董事會秘書     31.0000      2.3291%    0.0715%

   李學軍           中國    核心技術人員     15.0000      1.1270%    0.0346%

    王俊           中國    核心技術人員     15.0000      1.1270%    0.0346%

二、董事會認為需要激勵的其他人員（498人）

 核心管理（業務）骨干、中層管理（業務）人

    員、優秀基層技術（業務）員工

首次授予合計（508人）                     1,064.8500   80.0038%    2.4561%

三、預留部分                            266.1500    19.9962%    0.6139%

                 合計              1,331.0000   100.0000%   3.0700%

   二、相關說明

票均未超過公司總股本的1%。公司全部在有效期內的激勵計劃所涉及的標的股票總

數累計不超過股權激勵計劃提交股東大會時公司股本總額的20%。

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                                     董事會

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